真空PVD鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產品品質。加工件進入鍍膜室前一定要做到認真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機油、拋光膏、油脂、汗漬等物，為了避免加工過程中造成的不良，真空鍍加工廠家基本上可采用去油或化學清冼方法將其去掉。

 對經過清洗處理的清潔表面，不能在大氣環境中存放，要用封閉容器或保潔柜貯存，以減小灰塵的沾污。用剛 氧化的鋁容器貯存玻璃襯底，可使碳氫化合物蒸氣的吸附減至最小。因為這些容器優先吸附碳氫化合物。真空鍍膜加工對于 高度不穩定的、對水蒸氣敏感的表面，一般應貯存在真空干燥箱中。

  真空PVD鍍膜加工清除鍍膜室內的灰塵，設置清潔度高的工 作間，保持室內高度清潔是鍍膜工藝對環境的基本要求。空氣濕度大的地區，除鍍前要對基片、真空室內各部 件認真清洗外，還要進行烘烤除氣。要防止油帶入真空室內，注意油擴散泵返油，對加熱功率高的擴散泵必須 采取擋油措施。